Idees bàsiques i enfocaments tècnics de protecció electrostàtica
Les descàrregues electrostàtiques poden causar danys al dispositiu, però prenent mesures adequades i adequades de protecció i control ESD per establir un sistema ESD, es pot eliminar o controlar l'EDS per minimitzar els danys als components. Hi ha dues idees bàsiques per a la protecció electrostàtica i el control de dispositius sensibles:
1. (1) Eviteu l’acumulació d’electricitat estàtica en llocs on es pugui produir una connexió a terra i tingueu algunes mesures per evitar o reduir l’aparició de descàrregues electrostàtiques, o adoptar el mètode de "filtració mentre es genera la part lateral" per eliminar l’acumulació de càrrega elèctrica. . El càrrec es controla en la mesura que no causi danys.
1. (2) Acumuleu la càrrega acumulada de forma ràpida i fiable.
2.1 Mètode de control de processos
Dissenyat per produir el menor càrrec estàtic possible durant el procés de producció. Amb aquesta finalitat, es prenen mesures des dels aspectes del flux de processos, selecció de materials, instal·lació d’equips i gestió d’operacions per controlar la generació i l’acumulació d’electricitat estàtica, i suprimir el potencial electrostàtic i la capacitat de descàrrega electrostàtica per tal de no superar el grau de danys. Igual que en el procés de fabricació de semiconductors, s'ha de controlar la resistivitat de l’aigua desionitzada per al rentat després de completar el procés de formació de la unió de poca profunditat del dispositiu d’alta velocitat. Tot i que la resistivitat és més alta, millor serà l’efecte de neteja, però com més gran és la resistivitat, més gran serà l’electricitat estàtica generada al xip. Per tant, generalment es controla a un nivell lleugerament superior a 8 MΩ i no pot ser de 16-17 MΩ per al procés inicial. A més, en l'elecció dels materials, els materials d’embalatge han d’utilitzar materials antiestàtics, tractar d’evitar materials polímers no tractats.
2.2 Mètode de fuga
Està dissenyat per eliminar l'electricitat estàtica mitjançant fuites. Normalment, la connexió a terra electrostàtica és la fuita de càrrega elèctrica a la terra; també hi ha un mètode per augmentar la conductivitat elèctrica de l'objecte per provocar una fuita del sòl al llarg de la superfície o de l'interior de l'objecte, com ara afegir un agent electrostàtic o augmentar la humitat. El més freqüent és la polsera antiestàtica usada pel personal i el lloc de posada a terra estàtic.
2.3 Mètode de protecció electrostàtica
Segons el principi de protecció electrostàtica, es pot dividir en dos tipus: blindatge de camp intern i blindatge de camp extern. La mesura específica és aïllar el cos carregat d'altres objectes amb una coberta de pantalla connectada a terra, de manera que el camp elèctric del cos carregat no afecti a altres objectes circumdants (a l'interior del blindatge de camp); de vegades, la coberta blindada serveix per envoltar l'objecte aïllat, de manera que estigui protegit dels camps elèctrics externs (protecció per camp). Per exemple, un paquet de dispositius GaAs utilitza una caixa metàl·lica o una pel·lícula metàl·lica.
2.4 Mètode de neutralització composta
El seu objectiu és eliminar la càrrega estàtica mitjançant una neutralització complexa. L’ús d’un eliminador de terra per produir un complex amb un ió carregat al cos carregat per aconseguir la neutralització. En termes generals, quan el cos carregat és un aïllant, ja que la càrrega elèctrica no pot fluir a l’aïllant, el mètode de posada a terra no es pot utilitzar per filtrar la càrrega elèctrica. En aquest cas, s'ha d’utilitzar un eliminador antiestàtic per generar el ion diferent per neutralitzar-lo. Aquest mètode s’utilitza per eliminar la càrrega electrostàtica generada a la cinta transportadora.
2.5 Mesures netes
Dissenyat per evitar descàrregues intermitents. Amb aquesta finalitat, la superfície del cos carregat i els objectes circumdants s'ha de mantenir tan llisa i neta com sigui possible per reduir la possibilitat de descàrregues intermitents.