La influència dels factors estàtics en els envasos IC
Amb el continu i constant creixement de l’economia nacional xinesa i la innovació i el desenvolupament continuats de la tecnologia de producció, el procés de producció té uns requisits més alts i més alts per a l’entorn de producció. Els processos de producció a gran escala i ultra-gran escala Ic proposen requisits més alts en l'entorn de producció, no només per mantenir una certa temperatura, humitat, neteja, sinó també prestar suficient atenció a la protecció electrostàtica.
Com tots sabem, la indústria de l’embalatge pertany al procés de producció a la baixa de tota la producció d’IC. En aquest procés, per a circuits integrats de plàstic, circuits integrats híbrids o IC monolítics, es produeixen principalment drenatges (rectificat) de galetes, tall de galetes, capes superiors (làmina adhesiva), soldadura per pressió (encaixat), encapsulació (encapsulació), pre-curat , galvanoplàstia, impressió, post-curació, tall, càrrega de tubs, proves post-segellat, etc. Cada procés té diferents requisits per a diferents entorns de procés.
La influència dels factors estàtics en els envasos IC
En primer lloc, la causa de l'electricitat estàtica està a tot arreu. Avui, amb el ràpid desenvolupament de la tecnologia i l'alt grau d'automatització de la producció industrial, el dany de l'electricitat estàtica en la producció industrial ja és obvi. Pot causar diversos obstacles, limitar la millora del nivell d’automatització i afectar la qualitat del producte. Aquí, combinat amb la situació real de la nostra fàbrica en el procés d’envasament i producció de circuits integrats per explicar el motiu de l’aparició d’electricitat estàtica, hi ha principalment els següents motius.
1. Els materials d'alta resistència s'utilitzen en els materials de construcció i decoració del taller de producció. El procés de producció d’IC requereix l’ús de tallers nets o tallers ultra-nets.
Es requereix que la mida de les partícules de les partícules que eliminen la pols es canviï de les convencionals de 0,3 µm a 0,1 µm, i la densitat de partícules de pols és d’uns 353 / m3. Amb aquesta finalitat, a més de la instal·lació de diversos equips d’aspiració, també s'utilitzen materials inorgànics i orgànics per evitar la pols. No obstant això, les propietats elèctriques dels materials de construcció no es tenen en compte com a indicador. Tampoc hi ha cap disposició en les especificacions de disseny de les plantes industrials. Els materials de decoració d'interiors utilitzats a la fàbrica neta de la fàbrica IC són: sòl elàstic de poliuretà, niló, plàstic dur, polietilè, paper tapís de plàstic, resina, fusta, porcellana blanca, esmalt, guix, etc. La majoria dels materials esmentats són compostos polimèrics o aïlladors. Per exemple, la resistivitat vitrinite és de 1012 a 1014 Ω / cm, i la resistivitat del polietilè és de 1013 a 1015 Ω / cm, de manera que la conductivitat elèctrica és relativament pobra. Per alguna raó, l'electricitat estàtica no es filtra fàcilment a la terra a través d’ells, cosa que fa que s’acumuli electricitat estàtica.
2, el cos estàtic
Les diferents accions dels operadors de la planta neta i els moviments de l’anada i tornada, la sola i el sòl estan en contacte i separació constant, i les diferents parts del cos humà també tenen activitats i friccions. Ja sigui caminant ràpidament o lent, el trot generarà electricitat estàtica, que es diu caminar i carregar; L’electricitat estàtica també es genera quan les peces de treball que el cos humà desgasta estan separades de la superfície de la cadira. Si no es pot treure la tensió estàtica del cos humà i tocar el xip IC, es pot trencar la CI inconscientment.
3. Electricitat estàtica causada per la climatització i la purificació de l'aire
Atès que els requisits de producció de CI es realitzen en condicions de 45-55% RH, es requereix aire condicionat i es requereix purificació de l'aire. L’aire deshumidificat s’envia a la sala neta a través del filtre primari, el filtre d’eficiència mitjana, el filtre d’alta eficiència i el conducte d’aire. En general, la velocitat total del vent del conducte d’aire és de 8 a 10 m / s, i la paret interna del conducte d’aire està pintada. Quan l’aire sec i el conducte d’aire, l’aire sec i el filtre es mouen l'un amb l’altre, es genera electricitat estàtica. Cal assenyalar que l'electricitat estàtica té una relació relativament sensible amb la humitat.
A més, el transport de productes semielaborats i productes IC generarà electricitat estàtica durant l'envasament i el transport, que és un dels factors de càrrega electrostàtica.
En segon lloc, el dany de l'electricitat estàtica a IC és bastant gran. En general, l'electricitat estàtica té les característiques d'un gran camp elèctric potencial i fort. En el procés d’electrificació electrostàtica, de vegades es formen descàrregues d’alta intensitat transitòria i pols electromagnètic (EMP), resultant en un ampli espectre de camp de radiació electromagnètica.
A més, en comparació amb l'energia elèctrica convencional, l'energia electrostàtica és relativament petita. En el procés de descàrrega i electrificació natural, el paràmetre de descàrregues electrostàtiques (ESD) és incontrolable i és un procés difícil que és difícil de repetir, de manera que la gent sol utilitzar-lo. Descuidat. Especialment en el camp de la microelectrònica, el dany que ens causa és increïble. Es informa que la pèrdua econòmica directa causada per l'electricitat estàtica arriba fins a diversos centenars de milions de iuans cada any. El perill electrostàtic s'ha convertit en un obstacle important per al desenvolupament de la indústria de la microelectrònica.
A la planta de fabricació de dispositius semiconductors, el rendiment de circuits integrats, especialment els circuits integrats a gran escala (VLSI), es redueix considerablement a causa de l’adsorció de pols a les encenalls. Els operaris de tallers de producció de CI porten un vestit net Si el cos humà està carregat d’electricitat estàtica, és fàcil absorbir pols, brutícia, etc. Si aquests pols i brutícia són portats al lloc d’operació, això afectarà la qualitat del producte, deteriorarà el rendiment del producte i reduirà considerablement Ic. Rendiment. Si el radi de les partícules de pols adsorbides és superior a 100 μm i l'amplada de la línia és d'uns 100 μm, quan el gruix de la pel·lícula és de 50 μm, el producte és més probable que es rebutgi.
De nou, els danys estàtics a la CI tenen certes característiques.
(1) Ocultació Llevat que es produeixi la descàrrega electrostàtica, el cos humà no pot detectar directament l'electricitat estàtica, però el cos humà pot no tenir la sensació de descàrrega elèctrica quan es descarrega electrostàticament. Això es deu al fet que la tensió de descàrrega electrostàtica percebuda pel cos humà és de 2 ~ 3kv, de manera que l'electricitat estàtica està oculta.
(2) Potencialitat No hi ha cap baixada significativa en el rendiment d'alguns embornals després de danys electrostàtics, però les descàrregues acumulades múltiples poden causar ferides internes als dispositius IC i representar un perill amagat. Per tant, el dany de l’electricitat estàtica a l’IC és potencial.
(3) En quines circumstàncies els IC aleatoris pateixen danys electrostàtics? Es pot dir que tots els processos estan amenaçats per l’electricitat estàtica des del moment de la generació d’un xip IC fins que quedi danyat, i la generació d’aquesta electricitat estàtica és aleatòria. El seu dany també és aleatori.
(4) L'anàlisi de fallades de danys a les descàrregues electrostàtiques complexes consumeix molt de temps, requereix força de treball i és car a causa de les característiques estructurals fines, fines i petites dels productes IC microelectrònics. Es requereix alta tecnologia i sovint es necessiten instruments altament sofisticats. Tot i així, alguns fenòmens de dany electrostàtic també són difícils de distingir dels danys causats per altres causes; la gent considera erròniament que la fallada de les descàrregues electrostàtiques és deguda a que altres fallades, que sovint s'atribueixen a un fracàs precoç o a una situació poc clara abans que el dany a les descàrregues electrostàtiques no estigui completament reconegut. El fracàs, de manera inconscient, emmascarava la veritable causa del fracàs. Per tant, és complicat analitzar el dany de l'electricitat estàtica en IC.
En definitiva, és necessari establir un sistema de protecció ESD durant el processament i envasat dels circuits integrats. La línia de producció d’envasos IC té requeriments més estrictes d’electricitat estàtica. Per tal d'assegurar el funcionament normal de la línia de producció, la decoració global dels materials de construcció antiestàtics per a la seva fàbrica neta i les mesures de maquinari per a tot el personal que entra i surt de la fàbrica neta ha d'estar equipat amb roba antiestàtica. les empreses d'envasat es poden basar en els estàndards nacionals rellevants i la situació real de l'empresa. L’empresa ha establert estàndards d’empresa o requisits específics d’antistàtica per satisfer el funcionament normal de la línia de producció d’envasos IC. Amb l’expansió de la línia d’envasament IC de la Xina, l’augment de la capacitat d’envasament, l’augment de varietats d’envasos i els requisits més alts de qualitat del producte i rendiment, corresponents, diversos requeriments de programari i maquinari i la consciència de la protecció estàtica per a tots els empleats. i està jugant i actuant com el "paper principal" i "assassí invisible" que afecta la qualitat dels nostres productes. Per tant, la protecció estàtica serà un problema important en tota la indústria de la IC ara i en el futur.